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小磨頭拋光設備-成交公告

小磨頭拋光設備-成交公告

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信息時間:
2025-08-20
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項目名稱 小磨頭拋光設備
項目編號 SUSTech-JC-2025-00212
項目類型 貨物類
成交方式 最低價成交
公示時間 本公告自發(fā)布之日起三日
成交單位 ******有限公司
成交金額(元) 800000.00
成交理由 最低價成交
預算(元) 980000.0
項目預算是否含稅 國產(chǎn)含稅
備注



采購明細
序號 名稱 數(shù)量 單位 單價/元(報價) 總價/元(報價)

1

小磨頭拋光設備(核心貨物)

1

800000.0

800000.0

是否接受進口

拒絕進口

品牌

星海光電

型號

UPM5

生產(chǎn)廠商

******有限公司

產(chǎn)地信息

哈爾濱

技術規(guī)格及參數(shù)

1.1 滿足2~3英寸(碳化硅、單晶硅、單晶/多晶金剛石)晶圓 (厚度1-20 mm)加工需求。
1.2磨頭主軸、擺動工裝(2套)、磨頭修整器、床身(整體式鑄造,含機罩)、控制面板。
1.3 晶圓裝夾在擺動工裝上,通過擺動工裝可手動調節(jié)與磨頭端面垂直方向的相對位置并形成偏心旋轉,而且滿足恒力加載。
1.4 控制面板具備冷卻水流量調節(jié)、擺動工裝/磨頭轉速調節(jié)、磨頭在線修整、照明/排氣等功能。
1.5磨頭直徑50~350 mm、主軸額定功率4.0 KW、磨頭端面跳動精度優(yōu)于20 μm。
1.6 磨頭轉速調節(jié)范圍0~1500 rpm、工件轉速調節(jié)范圍0~100 rpm。
1.7 設備應滿足最大尺寸1500×1300×2000 mm以及最大承重載荷6.0 KN/m2的要求。
1.8 晶圓加工精度應滿足表面粗糙度Sa ≤ 1 nm、表面損傷層厚度≤ 5 nm。

質保期

對貨物及其隨機配件提供1年的保修期,該保修期自貨物驗收合格之日起計算。

售后要求

提供設備報修電話及聯(lián)系人,采購方報修后,2小時內響應,48小時內派員上門現(xiàn)場維護,并在72小時內解決問題,如在規(guī)定時間內不能解決設備故障,應提供相同檔次、功能的設備給采購方代用。

付款方式 甲方應在貨物交付、安裝調試、試運行及驗收合格并收到乙方開具相應發(fā)票之日起(10)個工作日內向乙方支付本合同價款總額的100%。
交貨期 ******學校要求提前7天(自然日)通知送貨
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